研究内容

（1）机械式激光追踪技术

结合激光干涉仪和球杆仪，研究高精度的机械式追踪技术，包括长度实时调节的高精度伸缩装置、高精低阻双球铰、绝对测量标定技术以及激光器防倾覆技术，以上装置和技术制约着机械式激光追踪装置的精度和使用范围。

（2）实物标准基站标定技术

基站标定精度是高精度激光追踪的前提。研制高精度实物标定装置，研究基于实物标准的基站标定方法，研制高精度实物标定装置，通过四个及以上不重复不共面的固定点的重复定位实现高精度基站标定。

（3）位姿偏差多自由度测量技术

研究位姿偏差测量原理，实现数控机床运动轴六项几何误差和机器人末端定位误差的多自由度测量。

（4）专用测量系统开发

开发三维激光干涉双球杆仪专用测量系统，针对不同型号数控机床，结合测量装置，可以快速实现旋转轴和线性轴的多自由度误差测量。

研究目标

（1）机械式追踪技术：（2）基站标定技术：（3）位姿偏差多自由度测量技术：

成果指标

发表论文数量：撰写高水平论文2-6篇；

专利：申请发明专利、实用新型专利2-5件；

指标参数：

       机械式激光跟踪测量装置测量范围300~1000mm；

       距离测量精度优于3微米；

       基站标定装置固定点数目不少于4个， 重复定位精度优于 3μm；

       1m 长度范围内线性轴六自由度误差标定时间少于 3.5 小时；

       转台360°范围六自由度误差标定时间少于 3.5 小时。