12英寸单晶硅棒掺杂工艺研究及产业化:1.12英寸单晶硅棒生产的掺杂工艺技术,包括准备原料、首次装料、第二次装料、加热熔化等工艺技术;2.分析研究掺杂微量硼、磷、镓元素的单晶硅,确定最佳掺杂微量元素,寻求合适掺加方法和掺加时间,控制和缩短单晶硅棒头部和尾部之间的差距,缩小单晶硅棒电阻率的差额区间,增加单晶硅棒优质段的长度,提高单晶硅棒的产量。
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