本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容‑电压变换电路,包括:电压激励源、共模电荷控制器和电荷电压转换模块;其中,电荷电压转换模块包括:第一级差分放大器、第二级差分放大器、增益误差矫正器、有源噪声抵消器和电荷反馈单元,并且分别与有源噪声抵消器和第二级差分放大器连接的增益误差矫正器可以对第一级差分放大器及第二级差分放大器产生的增益误差加以矫正,因此在降低噪声的同时提高了增益精度,从而显著提升能效。
本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容‑电压变换电路,包括:电压激励源、共模电荷控制器和电荷电压转换模块;其中,电荷电压转换模块包括:第一级差分放大器、第二级差分放大器、增益误差矫正器、有源噪声抵消器和电荷反馈单元,并且分别与有源噪声抵消器和第二级差分放大器连接的增益误差矫正器可以对第一级差分放大器及第二级差分放大器产生的增益误差加以矫正。
本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路,将CC22与第四差分运放的同相输入端之间包括第十节点,所述第十节点经和接地;与之间包括第十一节点;CH22的一端与第十一节点连接、另一端连接至第四差分运放的反相输出端,且第四差分运放的反相输出端经和接地;所述预设电容传感器与第三差分运放的同相输入端之间包括第十二节点,第十二节点经接地,与之间包括第十三节点,CI22的两端分别与所述第十二节点和所述第十三节点连接。
在半导体工艺不断进步、器件尺寸不断缩小的趋势下,对MEMS电容型传感器接口电路的精度以及功耗的要求越来越高,然而寄生电容效应导致的噪声恶化越来越显著。相关技术中MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路由于寄生电容产生的置位噪声和运放输出噪声的存在,致使信号恶化,无法满足信噪比需求。因此,研发一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路,旨在解决上述存在的问题。
本发明提供一种用于MEMS电容型传感器的电容-电压变换电路,包括:电压激励源、共模电荷控制器和电荷电压转换模块;并且分别与有源噪声抵消器和第二级差分放大器连接的增益误差矫正器可以对第一级差分放大器及第二级差分放大器产生的增益误差加以矫正,因此在降低噪声的同时提高了增益精度,从而显著提升能效。
联系人:张亮 15319991017
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