具有SiO2保护作用的固态等离子体PiN二极管及其制备方法 我要咨询 收藏本项目
推荐机构:西安科技大市场 项目阶段:研发 所属领域:
知识产权情况: 技术交易方式: 技术许可,技术转让,... 意向交易额:面谈
推荐机构 西安科技大市场 推荐人
委托机构 西安远诺技术转移有限公司 技术经理人 左瑜、张亮
项目名称 具有SiO2保护作用的固态等离子体PiN二极管及其制备方法 项目持有人 西安电子科技大学
知识产权情况
项目所属领域
项目创新点

当前绝大多数的研究只限于气态等离子体天线,对固态等离子体天线的研究几乎还是空白。而固态等离子体一般存在于半导体器件中,无需像气态等离子那样用介质管包裹,具有更好的安全性和稳定性。经理论研究发现,固态等离子体PiN二极管在加直流偏压时,直流电流会在其表面形成自由载流子(电子和空穴)组成的固态等离子体,该等离子体具有类金属特性,即对电磁波具有反射作用,其反射特性与表面等离子体的微波传输特性、浓度及分布密切相关。

原理路线

本项目的制备方法包括:(a)选取SOI衬底;(b)刻蚀SOI衬底形成有源区沟槽;(c)对所述有源区沟槽利用原位掺杂工艺分别淀积PSi材料和NSi材料形成P区和N区;(d)光刻引线孔并金属化处理以形成所述固态等离子体PiN二极管。

项目阶段 研发
市场应用与前景
技术交易方式 技术许可,技术转让,技术合作,技术服务
意向交易额 面谈
备注

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