推荐机构:西安科技大市场 | 项目阶段:研发 | 所属领域: |
知识产权情况: | 技术交易方式: 技术许可,技术转让,... | 意向交易额:面谈 |
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推荐机构 | 西安科技大市场 | 推荐人 | |
委托机构 | 西安远诺技术转移有限公司 | 技术经理人 | 左瑜、张亮 |
项目名称 | 具有SiO2保护作用的固态等离子体PiN二极管及其制备方法 | 项目持有人 | 西安电子科技大学 |
知识产权情况 | |||
项目所属领域 | |||
项目创新点 | 当前绝大多数的研究只限于气态等离子体天线,对固态等离子体天线的研究几乎还是空白。而固态等离子体一般存在于半导体器件中,无需像气态等离子那样用介质管包裹,具有更好的安全性和稳定性。经理论研究发现,固态等离子体PiN二极管在加直流偏压时,直流电流会在其表面形成自由载流子(电子和空穴)组成的固态等离子体,该等离子体具有类金属特性,即对电磁波具有反射作用,其反射特性与表面等离子体的微波传输特性、浓度及分布密切相关。 |
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原理路线 | 本项目的制备方法包括:(a)选取SOI衬底;(b)刻蚀SOI衬底形成有源区沟槽;(c)对所述有源区沟槽利用原位掺杂工艺分别淀积P型Si材料和N型Si材料形成P区和N区;(d)光刻引线孔并金属化处理以形成所述固态等离子体PiN二极管。 |
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项目阶段 | 研发 | ||
市场应用与前景 | |||
技术交易方式 | 技术许可,技术转让,技术合作,技术服务 | ||
意向交易额 | 面谈 | ||
备注 |
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