具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片 我要咨询 收藏本项目
推荐机构:西安科技大市场 项目阶段:研发,小试 所属领域:电子信息技术
知识产权情况: 其他 技术交易方式: 技术许可,技术转让 意向交易额:面议
推荐机构 西安科技大市场 推荐人
委托机构 西安远诺知识产权运营管理有限公司 技术经理人 张亮
项目名称 具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片 项目持有人 高校
知识产权情况 其他
项目所属领域 电子信息技术
项目创新点

具有如下创新点:

通过在传感器本体内设置应力隔离元件,将敏感元件设置于应力隔离元件中,通过隔离梁和隔离框阻止传感器芯片封装过程中干扰应力向压敏电阻和敏感元件传导,提高了传感器的测量精度和工作稳定性,降低了传感器芯片对封装工艺和材料的要求,简化了传感器芯片的封装工艺,降低了封装成本,从而该传感器芯片更适于进行低成本、大规模生产。本发明的传感器芯片具有结构合理,封装工艺简单,稳定性高,便于大规模、低成本生产的特点。

原理路线

1.具有应力隔离结构的横向敏感加速度传感器芯片,其特征在于,包括:

 

传感器本体,所述传感器本体中部设置通槽;

 

设置于所述传感器本体通槽内的应力隔离元件,所述应力隔离元件包括一对横向设置的隔离梁和设置于所述隔离梁之间的隔离框,所述隔离梁相互平行且分别位于所述隔离框宽度方向上的两侧,所述隔离梁两端与所述传感器本体相连,所述隔离框通过连接部与所述隔离梁相连,所述连接部宽度方向的中心线与隔离框宽度方向的中心线重合;

 

设置于所述隔离框内的敏感元件,所述敏感元件包括质量块和一对横向设置的挠性梁,所述挠性梁连接所述质量块和所述隔离框,所述质量块的横向中心线与所述挠性梁的横向中心线重合;

 

设置于所述质量块和所述隔离框之间的压敏电阻,所述压敏电阻以所述质量块的中心为对称中心对称设置于所述质量块的两侧,且位于连接部的宽度范围内;

 

设置于所述传感器本体上的金属焊盘,所述压敏电阻通过引线与所述金属焊盘相连。

项目阶段 研发,小试
市场应用与前景
技术交易方式 技术许可,技术转让
意向交易额 面议
备注

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